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기후변화 영향물질 완벽분해 기술개발- 기존기술 대비 처리효율은 10배로 향상시키고 유지비용도 20%이내로 절감 전민선 |
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전 세계적으로 지구온난화에 대한 심각성이 대두되고 있는 가운데 환경문제가 국가경제의 미래를 결정하는 주요변수로 부각되고 있다. 주요 선진국에서는 이미 온실가스 물질에 대한 환경규제 등 기후변화대응을 국가정책의 최상위순위에 두고 있다.
특히, 지구온난화의 대표적 가스로 알고 있는 이산화탄소가 널리 알려져 있으나 반도체 제조 공정에서 발생되는 과불화탄소는 이산화탄소에 비해 수천배에서 수만배로 온난화에 영향을 미치며 분해가 잘 되지 않아 전 세계적으로 다양한 처리기술 개발이 진행되고 있다.
한국환경산업기술원(원장 김상일)에서는 "반도체 공정에서 배출되는 대표적 기후변화영향 물질인 과불화탄소가스를 고효율로 연속 처리 할 수 있으며, 설치면적과 운영유지 비용이 낮은 고성능 하이브리드 플라즈마 스크러버를 개발"했다고 한다.
(주)크린시스템코리아 기술연구소에서는 환경부와 한국환경산업기술원의 차세대핵심기술개발사업을 지원 받아 실제 반도체 제조공정과 동일한 조건에서 장기간의 성능 테스트 및 효율 테스트를 통하여 PFCs 가스 중 가장 난분해성인 사불화탄소(CF4) 및 육불화황(SF6)의 처리기술을 개발하였다.
기존 반도체 공정에서 과불화탄소 분해를 위해 사용하고 있던 배가스 스크러버는 처리용량이 100 l/min 정도로 매우 낮고 처리효율도 90%정도였다. 한편, 금번 연구개발을 통해 개발된 하이브리드 플라즈마 스크러버는 플라즈마와 탄화수소연료 연소의 조합을 통한 상승효과를 이용하여 배가스 유량이 1,000 l/min 정도의 대용량 에서도 과불화탄소를 95%이상 고효율로 분해하여 처리할 수 있는 큰 장점을 가지고 있다.
개발된 하이브리드 플라즈마 스크러버는 매우 콤팩트하게 디자인되어 기존 스크러버에 비해 작은 공간에서도 설치가 가능하고 설치비용은 50%이상, 운영비용은 20%이상 절감 할 수 있다.
연구책임자 김승곤 소장은 "이번에 개발한 하이브리드 플라즈마 스크러버는 지구온난화 물질인 과불화탄소 가스를 대용량으로 완벽하게 분해시킬 수 있는 세계 최초의 기술이고, 각종 국제환경 규제에 능동적으로 대처가 가능하여 정부의 녹색성장 정책에 크게 이바지할 것으로 기대된다. 또한 해외로의 기술 수출이 가능할 것으로 예상하고 있다."라고 밝혔다.
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