반도체 산업의 생명수로 불리는 초순수 산업의 기술혁신을 이끄는 복합기능 연구시설이 2030년에 선보일 예정이다.

환경부(장관 한화진)는 신속한 초순수 기술개발과 인력양성 등을 위한 ‘국가 초순수 플랫폼센터’의 입지를 선정하기 위해 관련 기준에 적합한 부지를 보유한 전국 지자체를 대상으로 6월 24일부터 15일간 공모한다고 밝혔다.

초순수는 반도체 제조 각 공정(웨이퍼 제조, 포토, 식각 등) 과정의 세정에 사용된다. 반도체 품질과 수율(양품 비율)을 좌우하는 핵심 요소 중 하나인 초순수의 생산을 위해서는 물속에 포함된 불순물(이온, 유기물, 미생물, 미립자, 기체 등)의 농도를 극히 낮은 값으로 억제하는 최고난도의 수처리 기술이 필요하며, 일부 선진국만이 이 기술을 보유하고 있다.

우리나라는 현재까지 초순수 생산 기술을 여전히 해외기업에 의존하는 상황이며, 국가 주력산업인 반도체 분야에서 초격차를 확보하기 위해서는 초순수 생산기술의 국산화를 통해 국내외 환경에 구애받지 않고 초순수를 안정적으로 공급할 수 있는 능력을 확보해야 한다.

이러한 배경에서, 환경부는 2021년부터 초순수 생산기술 국산화를 위한 연구개발을 추진해 왔다.

또한 반도체 산업의 성장으로 수요 증가가 예상되는 초순수 생산 기술 개발 및 관련 산업의 육성을 위해 △초순수 기술개발, △수질분석, △실증·검증 및 교육시설 등이 집적된 ‘국가 초순수 플랫폼센터’를 2030년까지 조성할 계획이다.

환경부는 이번 공모를 통해 지자체로부터 ‘초순수 플랫폼센터 유치의향서’를 접수한 후에 신청 요건의 적합 유무와 평가 기준에 따라 최적의 입지 1곳을 선정하여 고시할 계획이다.

입지 조건 부지는 ‘물관리기술 발전 및 물산업 진흥에 관한 법률 시행령’ 제19조제1항 각 호에 해당하는 지역 중 ①건물 바닥면적 17,664m2 확보 가능, ②공업용수 3,120m3/일 확보 가능, ③전기용량 10,300kW 및 전력량 4,924,155kWh/월 사용 가능, ④폐수배출시설 1종 시설 설치 가능, ⑤ 2027년 이전 착공 가능, ⑥첨단 및 소재·부품·장비 특화단지 내 또는 반도체 제조 사업장과 30km 이내 지역 등 6가지 조건을 충족해야 한다.

환경부는 초순수 플랫폼센터 후보지 공모 이후 관련 분야 전문가 등을 중심으로 입지선정 평가위원회를 구성하여 지원한 후보지에 대한 평가를 진행하고, 최적 후보지가 선정되면 주민 및 관계 행정기관 의견 수렴을 거쳐 ‘국가 초순수 플랫폼센터’의 최종 입지를 결정한다.

▲ 초순수 플랫폼센터 시설 계획

‘국가 초순수 플랫폼센터’는 △소재·부품·장비 시험센터, △초순수 실증설비(플랜트), △분석센터, △폐수재이용 기술센터, △연구개발·기업지원·인재양성센터 등을 포함하는 5개 시설로 구성될 예정이다.

환경부는 ‘국가 초순수 플랫폼센터’가 국내 기업들이 초순수 관련 신기술을 직접 개발하고 국내 시장에서 실적을 확보함과 동시에 해외 진출까지 도모할 수 있는 토대가 될 것으로 기대하고 있다.

이승환 환경부 물이용정책관은 “초순수 플랫폼센터를 유치하면 해당 지자체의 경제 활성화 효과도 기대할 수 있을 것”이라며, “환경부는 국가 초순수 경쟁력 강화 및 관련 산업 진흥을 위한 지원을 지속할 계획”이라고 밝혔다.